深圳志昇供應(yīng)半導(dǎo)體芯片使用真空無塵烤箱

深圳志昇半導(dǎo)體真空無塵烤箱通過ISO Class 5級潔凈度認(rèn)證，采用多層不銹鋼腔體與磁流體密封技術(shù)實現(xiàn)≤0.1ppm氧含量控制，其快速升降溫系統(tǒng)可在15分鐘內(nèi)完成200℃至-50℃的工藝循環(huán)，配備32點溫度均勻性監(jiān)測模塊確保芯片受熱標(biāo)準(zhǔn)差＜±0.5℃。設(shè)計的晶圓承載架支持8/12英寸硅片全自動傳輸，真空泵組維持10^-3Pa極限真空度時能耗較傳統(tǒng)機型降低40%，集成式微粒監(jiān)控系統(tǒng)實時檢測0.1μm以上顆粒物并觸發(fā)等離子清潔程序。特殊開發(fā)的防靜電涂層與RFID追溯系統(tǒng)構(gòu)成雙重防護體系，使該設(shè)備在BGA封裝、3D IC堆疊等先進工藝中實現(xiàn)99.998%的良品率，其模塊化設(shè)計支持與SMEMA標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)線無縫對接，平均故障間隔時間達8000小時，成為華為海思、中芯國際等企業(yè)的工藝裝備。