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        HMDS預處理真空烘箱

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        產品價格: /人民幣 
        最后更新: 2025-08-29 09:53:48
        產品產地: 江蘇昆山市
        發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
        供應數量: 不限
        有效期: 長期有效
        最少起訂: 1
        瀏覽次數: 48
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      2.  
        產品詳細說明
        HMDS烘箱,晶圓涂膜HMDS真空烘箱系列電腦式HMDS真空烘箱主要應用于半導體晶圓片光刻涂膠鍍膜前預處理,增黏劑HMDS涂覆作業。本設備適用于在涂膠前對晶片進行預處理,集真空、烘烤、充氮、潔凈、HMDS加液多功能與一體。設備由箱體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統組成。通過多次預抽真空,充氮加熱循環進行,既能達到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠防止硅片的氧化和雜質的擴散,并且可以通過加液系統在硅片表面開成HDMS保護膜,從而使硅片具有良好的涂膠性能。和手工涂布HMDS相比,具有重復性好,節省藥液,環保,對人體無害的顯著優點;也可用于晶片其它工藝的清洗。
        設備型號 HMDS-90
        溫度范圍 RT+25~200°C
        溫度分辨率 ±0.1°C
        極限真空度 <10pa
        抽氣速率 4L/S  常壓~100pa時間<5min
        氧含量

        <10ppm

        潔凈度 class10
        控制方式 PLC+觸摸屏(人機交互界面)
        內腔尺寸 W450mm*D450mm*H450mm
        氮氣流量 0-100L/min
        電源功耗 AC220V    50HZ     4.5KW
        箱體 3mm優質SUS316#潔凈不銹鋼內膽
        外殼 SS41#中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆
        保溫材料 環保無油型陶瓷纖維防火阻燃材料
        安全保護措施 1.接地保護     2.過載保護      3.超溫保護

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