活性炭吸附脫附催化燃燒工藝流程圖，活性炭吸附脫附有機廢氣處理設備(ACF)是利用活性炭（或纖維）對有機溶劑的強吸附性而開發的。它采用吸附濃縮－脫附再生－溶劑分離回收的工藝流程而設計的由并聯的兩個或三個活性炭（纖維）吸附器和一套脫附回收裝置組成，適合于低濃度大風量的有機廢氣的凈化治理。它具有技術成熟，性能穩定，吸附能力強，可回收有機物，尾氣排放濃度低、安全可靠等優點。
利用活性炭的比表面積大、吸附容量大的特性吸附處理中低濃度有機廢氣是一種極其有效的處理手段，有機廢氣中的污染物質被吸附在活性炭內部，潔凈氣體被排出，從而起到凈化作用。
有機廢氣凈化裝置采用活性炭吸附、熱氣流脫附和催化燃燒三種組合工藝凈化有機廢氣，分三個工作過程進行：
第一，工作過程利用活性炭多微孔及巨大的表面張力、吸附容量大等特性將廢氣中的有機溶劑吸附在其內部，可使有機廢氣凈化效率高達95%以上，使所排廢氣得到凈化。
第二，工作過程由于活性炭的吸附容量有限，經一段時間吸附后，活性炭達到飽和狀態時，停止吸附，此時有機物已經被濃縮在活性炭內。活性炭吸附飽和后，按一定濃縮比把吸附在活性炭上的有機溶劑用熱氣流脫出并送往催化燃燒床。
第三，工作過程進入催化燃燒床的高濃度有機廢氣經過進一步加熱后，在催化劑的作用下氧氣分解，轉化成二氧化碳和水，分解釋放出的熱量經高效換熱器回收后用于加熱進入催化燃燒床的高濃度有機廢氣。
上述三個工作過程在運行一定時間達到自平衡后，脫附、催化分解過程無需外加能源加熱。
活性炭吸附脫附催化燃燒工藝流程，有機廢氣先通過干式過濾，將廢氣中顆粒狀污染物截留去除，然后進入吸附床進行吸附，利用具有大比表面積的蜂窩狀活性炭將有機溶劑吸附在活性炭表面，經處理后的潔凈氣體經過風機、煙囪高空排放。
活性炭經過吸附運行一段時間后達到飽和，啟動系統的脫附-催化燃燒過程，通過熱氣流將原來已經吸附在活性炭表面的有機溶劑脫附出來，并經過催化燃燒反應轉化生成CO2和水蒸氣等無害物質，并放出熱量，反應產生的熱量經過熱交換部分回用到脫附加熱氣流中，當脫附達到一定程度時放熱跟脫附加熱達到平衡，系統在不外加熱量的情況下完成脫附再生過程。
活性炭吸附、脫附+催化燃燒是金珠環保自主研發的新一代VOCs處理設備，是將吸附濃縮單元和熱氧化單元有機地結合起來的一種方法，主要適用于較低濃度有機氣體且不宜采用直接燃燒或催化燃燒法和吸附回收法處理的有機廢氣，尤其對大風量的處理場合，均可獲得滿意的經濟效果和社會效果。經吸附凈化并脫附后轉換成小風量、高濃度的有機廢氣，對其進行熱氧化處理，并將有機物燃燒釋放的熱量有效利用。
該設備可采用雙氣路連續工作，工作量較大時設兩個吸附床交替切換使用，一個催化燃燒室，先將有機廢氣經其中一個活性炭吸附床對氣流中的廢氣進行吸附，當活性炭快達到飽和時吸附床兩端的密閉閥門同時關閉，即停止吸附工作，同時另一臺吸附床自動打開開始接替吸附工作。如此以來兩臺吸附床切換運行可實現大工作量的連續工作。
