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等離子刻蝕機

產品價格：	10/人民幣
最后更新：	2012-10-25 11:41:38
產品產地：
發貨地：	廣東東莞 (發貨期：當天內發貨)
供應數量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數：	517

公司基本資料信息

東莞市啟天自動化設備有限公司
寧先生先生市場專員
會員[試用會員產品]
郵件844827568@qq.com
手機13925815657
電話
傳真
地址廣東省東莞市樟木頭樟洋工業區富竹二街八號

產品詳細說明

等離子體刻蝕設備應用于刻蝕硅片邊沿的硅磷層，擴散過程中，不但硅片的表面擴散上了磷，硅片邊緣也擴散上了磷，這會導致硅片正反兩極通過邊緣導通短路。所以必須將硅片邊緣這層被擴散上的硅磷去掉，大概去除1到3個微米。硅片在刻蝕機內水平旋轉，通入的反應氣體為四氟化碳、氧、和氮氣。其原理是在放電狀態下反應氣體四氟化碳、氧氣和硅片邊緣的硅化合物發生反應生成硅，反應形成粉未和氣態物質后隨氣流一起被抽走等。

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