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X軸 |
測量范圍 |
100mm或200mm | |
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分辨率 |
0.05μm | ||
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測量方法 |
反射型光柵尺 | ||
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驅動速度 |
80mm/s和手動 | ||
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測量速度 |
0.02-5mm/s | ||
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測量方向 |
向前/向后 | ||
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直線度 |
0.8μm /mm,2μm/mm（當X軸在水平方向上） | ||
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指示精度
（20℃） |
±（1+0.01L）μm（CV-3100S4,H4,W4）
±（0.8+0.01L）μm（CV-4100S4,H4,W4）
±（1+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8）
±（0.8+0.02L）μm（CV-3100S8,H8,W8）
L為驅動長度（mm） | ||
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傾斜范圍 |
±45° | ||
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Z2軸（立軸） |
垂直行程 |
300mm或500mm | |
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分辨率 |
1μm | ||
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測量方法 |
ABSQLUTE光柵尺 | ||
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驅動速度 |
0-20mm/s和手動 | ||
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Z1軸 |
測量范圍 |
±25mm | |
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分辨率 |
0.2μm（CV-3100系列）
0.05μm（CV-4100系列） | ||
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測量方法 |
光柵尺（CV-31000系列）
Laser holigage（CV-4100系列） | ||
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指示精度
（20℃） |
±（2+14H/100）μm（CV-3100系列）
±（0.8+12H/00）0.05μm（CV-4100系列）
H為水平位置上的測量高度（mm） | ||
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探針上下運作 |
弧形運動 | ||
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探針方向 |
向上/向下 | ||
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測力 |
30mN | ||
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跟蹤角度 |
向上 |
77° | |
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向下 |
87° | ||
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探針針尖 |
半徑 |
25μm | |
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材料 |
硬質合金針尖 | |
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基座尺寸（WxH） |
750x600mm或1000x450mm | ||
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基座材料 |
花崗巖 | ||
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重量 |
主機 |
140kg（S4） 150kg（H4） 155kg（W4）
145lg（S8） 155kg（H8） 160kg（W8） | |
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控制裝置 |
14kg | ||
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遙控箱 |
0.9kg | ||
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電源 |
100-240VAC±10% 50/60Hz | ||
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能耗 |
400W僅限主機 | ||
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型號 |
CV-3100S4/ CV-4100S4 |
CV-3100H4/ CV-4100H4 |
CV-3100V4/ CV-4100V4 |
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X1軸測量范圍 |
100mm |
100mm |
100mm |
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垂直行程 |
300mm電動立拄 |
500mm電動立拄 |
500mm電動立拄 |
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花崗巖基座尺寸（WxD） |
600x450mm |
600x450mm |
1000x450mm |
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尺寸（主機、WxDxH） |
741x450x905mm |
741x450x1105mm |
1118x450x1111mm |
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重量（主機） |
140kg |
150kg |
155kg |
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型號 |
CV-3100S8/ CV-4100S8 |
CV-3100H8/ CV-4100H8 |
CV-3100V8/ CV-4100V8 |
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X1軸測量范圍 |
200mm |
200mm |
200mm |
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垂直行程 |
300mm電動立拄 |
500mm電動立拄 |
500mm電動立拄 |
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花崗巖基座尺寸（WxD） |
600x450mm |
600x450mm |
1000x450mm |
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尺寸（主機、WxDxH） |
741x450x905mm |
767x450x1105mm |
1144x450x1111mm |
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重量（主機） |
145kg |
155kg |
160kg |
