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旋轉(zhuǎn)靶材是磁控的靶材。靶材做成圓筒型的，里面裝有靜止不動(dòng)的磁體，以慢速轉(zhuǎn)動(dòng)。
濺射靶材用于磁控濺射鍍膜，濺射鍍膜是一種新型的氣相鍍膜(PVD)方式。
在被濺射的靶ji(陰ji)與陽(yáng)ji之間加一個(gè)正交磁場(chǎng)和電場(chǎng)，在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣)，在電場(chǎng)的作用下，Ar氣電離成正離子和電子， 靶上加有一定的負(fù)高壓，從靶ji發(fā)出的電子受磁場(chǎng)的作用與工作氣體的電離幾率增大，在陰ji附近形成高密度的等離子體，Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面， 以很高的速度轟擊靶面，使靶上被濺射出來(lái)的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離靶面飛向基片淀積成膜。
濺射靶材用途主要在太陽(yáng)能電池，建筑玻璃，汽車(chē)玻璃，半導(dǎo)體，平板電視等。
洛陽(yáng)高新四豐電子材料有限公司是一家從事TFT-LCD/AMOLED、半導(dǎo)體IC制造用高純?yōu)R射靶材——高純鉬/銅/鈦等系列產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。濺射靶材產(chǎn)品主要有TFT-LCD/AMOLED、半導(dǎo)體IC及光伏太陽(yáng)能制造用高純鉬及鉬合金、銅、鈦、鎢等平面靶材和旋轉(zhuǎn)管靶等金屬靶材。此外，公司生產(chǎn)的鎢鉬深加工制品、鎢合金薄板和用鎢合金、TZM板棒材、精加工鎢鉬零件等超高溫特種功能材料廣泛應(yīng)用于單晶爐、鋼鐵、醫(yī)療等行業(yè)。歡迎大家咨詢選購(gòu)。
洛陽(yáng)高新四豐電子材料有限公司
