預抽真空爐的核心思路是“先抽真空、后升溫、再充氣、再冷卻”，其工作原理可分為五步：
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預抽真空
爐門關閉后，機械泵＋羅茨泵串聯啟動，把爐膛從大氣壓抽到101→10?1 Pa，排除氧、水蒸氣；隨后擴散泵（或分子泵）投入，進一步獲得10?2～10?? Pa的高真空，為光亮熱處理奠定潔凈環境
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真空加熱
真空度達標后，鉬絲/石墨發熱體通電，以輻射方式對工件均勻加熱；因無對流，爐內多區控溫（±5 ℃）保證工件表里一致
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工藝保溫
到達設定溫度（如淬火950 ℃、釬焊1100 ℃）后，PLC按時間曲線保溫，真空環境防止脫碳、氧化，實現光亮淬火或潔凈燒結
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充氣與冷卻
保溫結束，關閉高閥，回填高純N?/Ar至0.3–0.8 MPa，啟動大功率風扇循環，實現氣淬快速冷卻；也可自然冷卻，滿足不同的冷卻速率要求
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取料
爐溫降至60 ℃以下，啟動機械泵再次輕抽真空（防爐門開啟瞬間吸入濕空氣），隨后破真空開門，完成無污染、少氧化的熱處理循環
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