日本KOHZU神津精機定位平臺XA07A-R103電動臺
累積誤差
≦ 10μm/20mm(AVE. 2.1μm/20mm)
重復定位精度
≦±0.3μm (AVE. ±0.05μm)
水平直線度
≦ 0.5μm/20mm(AVE. 0.16μm/20mm)
垂直直線度
≦ 0.6μm/20mm(AVE. 0.16μm/20mm)
剛度
0.10 arcsec/N?cm (AVE. 0.05 arcsec/N?cm)
光電傳感器基板
F-116(HOME, LIMIT), 反向型號: F-116R(HOME, LIMIT)
連接器
圓形20針 (廣瀨: RP13A-12JG-20PC)
2 相步進電機規格型號
XA07A-R103-BM
2 相步進電機規格 連接器
圓形20針 (廣瀨: RP13A-12JG-20PC)
