HCL氣體質量流量控制器 ALICAT耐腐蝕性氣體質量流量控制器性能
- 可用量程：0-20 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，請參見零件編號標簽）
- 可調比：200:1（MCE/MCV）或者100:1 （MCES/MCVS）
- 標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數+0.2%滿量程）
- 高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數+0.2%滿量程）
- 可重復性：0.2%滿量程
- 標準控制器響應時間常數：50-100ms（若有PID調節功能，可縮短至25ms）
- 氣動閥漏氣率（僅MCV系列）：1 x 10-9 atm scc/sec（值，氦氣）
- 無需預熱時間
