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        真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂

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        產品價格: /人民幣 
        最后更新: 2022-06-30 11:05:09
        產品產地: 本地
        發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
        供應數量: 不限
        有效期: 長期有效
        最少起訂: 1
        瀏覽次數: 155
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      1. 公司基本資料信息
        • 深圳市衡鵬瑞和科技有限公司
        • 劉慶先生 銷售經理
        • 會員[試用會員產品]
        • 郵件sales@hapoin.com
        • 手機13923818033
        • 電話
        • 傳真
        • 地址深圳市南山區南頭街道藝園路133號田廈1C產業園3018
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        產品詳細說明
        真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂


        真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂特點: 
        5軸真空水平多關節型潔凈機械手臂GTVCR5000系列
        實現了下降價格,但是也可以維持以前的GTVHR5000系統的機能,功能
        能夠在真空環境下對應并排擺放的腔室工作臺布局,能夠靈活地適應不同類型設備的多種布局
        通過優化機械手臂的空間尺寸,有利于減小真空腔室的內部容積
        非常適合inline設備
        機械手臂標準臂長:280mm, 330mm
        手臂關節處使用磁流體密封裝置
        真空密封:磁流體密封裝置以及波紋管
        提高潔凈度的方法:手臂內部排氣口安裝5μm級過濾器
        雙手指機構能夠縮短更換晶圓時的手臂動作時間
        配備動作監視器
        控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式
        全軸采用絕對值編碼器規格的AC伺服電機
        S曲線加減速控制方式能夠高速,高精度地搬運半導體晶圓
        手指材質:CFRP(碳纖維),鋁合金,高純度陶瓷等多種可選材質
        晶圓固定方式:下托式,利用晶圓自重的邊緣夾持式,利用O型膠圈的摩擦力來保持位置




        真空水平多關節型5軸潔凈機械手臂基本參數:
        使用環境                    潔凈間內的大氣:溫度 15°C-40°C
        工藝室溫度                 450°C
        手臂                          單臂
        到達距離                    635mm (手臂第3關節中心基準)
        升降軸行程                 60mm
        可搬運質量                4kg (手臂第3關節處基準)


        如需詳細產品參數 請聯系我們衡鵬
        http://www.hapoin.com/wafer_transfer_robot/gtvcr5330.htm



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