基恩士超深度彩色3D形狀測量顯微鏡VK-9510K

型號			VK-9510K
類型			控制器
綜合倍率			28,800 倍以下*1
視野 (最小視野范圍)			11 μm 至 7,398 μm
幀率 (激光測量速度)			4 至 125 Hz、7,900 Hz*2
測量原理	光學系統		針孔共聚焦光學系統、變焦
	光接收元件		16 bit 感應光電倍增器、超高精細彩色CMOS
	掃描方式 (常規測量時及圖像拼接時)		自動上下限設定功能、高速光量化功能 (AAGII)、反射光量不足補充功能 (雙掃描)
高量	顯示分辨率		0.5 nm (VK-X1100)、5 nm (VK-X1050)
	線性標尺
	動態量程 (來自工件的光接收量的適用幅度)		16 bit
	重復精度σ	激光共聚焦	20 倍 : 40 nm、50 倍 : 12 nm (VK-X1100) 20 倍 : 40 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1050)
		變焦	5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 20 nm (VK-X1100) 5 倍 : 500 nm、10 倍 : 100 nm、20 倍 : 50 nm、50 倍 : 30 nm (VK-X1050)
	高度數據獲取范圍		70 萬步驟
	準確性		0.2 + L/100 μm 或更小 (L = 測量長度 μm)*3
寬度測量	顯示分辨率		1 nm (VK-X1100)、10 nm (VK-X1050)
	重復精度 3σ	激光共聚焦	20 倍 : 100 nm、50 倍 : 40 nm (VK-X1100) 20 倍 : 100 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1050)
		變焦	5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 50 nm (VK-X1100) 5 倍 : 400 nm、10 倍 : 400 nm、20 倍 : 120 nm、50 倍 : 65 nm (VK-X1050)
	準確性		測量值±2 % 以內*3
XY 載物臺結構	手動 運行范圍		70 mm x 70 mm
	電動 運行范圍		100 mm x 100 mm
觀察	觀察圖像		超高精細彩色CMOS 圖像、16 bit 激光彩色共焦點圖像、共焦點 + ND 濾波器光學系統、C - 激光微分干涉圖像
	照明		環狀照明、同軸落射照明
測量用激光光源	波長		紫色半導體激光 404 nm (VK-X1100) 紅色半導體激光 661 nm (VK-X1050)
	輸出		1 mW
	激光產品		2 類激光產品 (GB7247.1)
電源	電源電壓		100 至 240 VAC、50/60 Hz
	消耗電流		150 VA
重量			約 3.0 kg
*1 23 寸顯示器畫面上的倍率 (全屏顯示器時)。 *2 測量模式/測量品質/鏡頭倍率的組合中、取最快的一組組合時。線掃描的情況下、測量間距小于 0.1 μm 時。 *3 使用 20 倍以上的鏡頭測量標準樣品 (標準刻度) 時。