HatPlant 電鏡消磁系統

產品背景：

      當今的高性能電子束相關的設備對變化的環境磁場非常敏-感，比如離子束3D打印設備、電子顯微鏡、半導體光刻機、等離子切割機。當環境磁場發生變化時，電鏡中的電子束會偏轉，從而導致打印歪曲偏離、電子顯微鏡分辨率下降和圖像失真。HSR2iX系列磁場消除系統通過動態創建幾乎相等且方向相反的磁場來穩定電子束相關的設備周圍的環境磁場，改善各種電子束、離子束設備周圍惡劣的磁場環境，保障設備使用的磁場環境要求。

產品介紹：

HSR2iX系列磁場消除系統由磁傳感器感知單元、磁場發生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成。綜合了低噪聲磁敏-感技術、消磁線圈優化設計技術、磁場自動控制技術，實現了對寬頻帶雜散磁場的自動跟蹤補償，達到穩定磁場的目的。

根據具體用途，HSR2iX系列磁場消除系統具有三種不同型號：HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。（特殊情況可定制）

工作原理：

通過三分量磁場傳感器實現雜散磁場的感知，并將感知到的信號送入智能磁場控制單元；智能磁場控制單元實時產生一個電流信號，該電流通過磁場產生單元產生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場，在工作區實現了磁場的疊加從而得到穩定的磁場環境。

典型應用：

1. 生命科學領域的冷凍電鏡

冷凍電鏡可以直接觀測蛋白質分子、生物病毒（埃博拉病毒、非典病毒）的結構，但是冷凍電鏡極易受到磁場、震動的影響；磁場影響主要來自大型用電設備、輸電線路、軌道交通等。

2. 材料科學領域的掃描電鏡

掃描電鏡可以直接研究晶體缺陷及其產生過程，可以觀察金屬材料內部原子的集結方式和它們的真實邊界，可以觀察在不同條件下邊界移動的方式，可以檢查晶體在表面機械加工中引起的損傷和輻射損傷等；但是掃描電鏡容易受到磁場波動的影響而導致圖像出現條紋。

3. 化工領域中的原理分析用電鏡

電鏡可以用來觀測催化劑的表面重構，深入研究反應機理，但是磁場干擾尤其是交流磁場干擾會使得球差矯正透鏡的圖像模糊、扭曲。

4. 半導體工藝中的缺陷分析用電鏡

硅片表面玷污是影響微電子器件質量的嚴重問題。掃描電鏡可以檢查和鑒定硅片表面玷污的種類、來源。用掃描電鏡還可以檢查硅片表面殘留的涂層或均勻薄膜、可以顯示其微觀結構。

5. 納米制造領域的加工精度保證

納米科技的發展帶領納米尺度制造業的迅速發展，納米加工就是納米制造業的核心部分，納米加工的代表性方法就是聚焦離子束。近年來發展起來的聚焦離子束（FIB）技術利用高強度聚焦離子束對材料進行納米加工，成為了納米級分析、制造的主要方法。但是離子束極易受到磁場的影響，無論是恒定磁場還是變化的磁場均會使得加工精度受到影響。