離子濺射儀 北京德東科技有限公司

離子濺射儀

IS12/IS13離子濺射儀是依據(jù)二極(DC)直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的，最簡(jiǎn)單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備。適用于電鏡實(shí)驗(yàn)室的掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備，非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。

IS12Ⅲ三靶離子濺射儀最大特別之處是：三靶設(shè)計(jì)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)可以依次在樣品上濺射不同的材料，而無(wú)需破壞真空條件進(jìn)行靶材更換。適用于實(shí)驗(yàn)室的各種復(fù)合膜樣品制備，及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極制作。

特點(diǎn)：

1、配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表，用以指示、監(jiān)控儀器狀態(tài)；

2、濺射電流調(diào)整控制器、微型真空氣閥。在工作時(shí)結(jié)合內(nèi)部自動(dòng)控制電路很容易控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及任意選擇所需要的電離氣體，獲得最佳鍍膜效果；

3、特殊設(shè)計(jì)的鐘罩邊緣橡膠密封圈，可保證長(zhǎng)期使用不會(huì)出現(xiàn)影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊”現(xiàn)象；

4、陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經(jīng)久耐用；

5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量樣品濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

規(guī)格：