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CCQ型氣動超高真空插板閥是通過電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動閥板作上下運動，達到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體。
帶反饋信號裝置。
主要技術(shù)性能
| 適用范圍 | 105～1.3×10-7Pa |
| 閥門漏率 |
≤1.3×10-7Pa.L/S.(DN≤200) ≤6.7×10-7Pa.L/S.(DN≥250) |
| 適用溫度 | -30～+150℃ |
| 閥門開啟時閥板兩側(cè)的壓差 | ≤2.7×103Pa. |
| 氣源壓力 | 0.4～0.6MPa |
主要零件材料
閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管(軸封)、橡膠。
外形及連接尺寸(mm)
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Model
型號 |
DN
|
A
|
H
|
D
|
Do
|
D1
|
D2
|
D3
|
L
|
L1
|
G
|
E
|
n-d
|
法蘭標準
|
|
CCQ-50
|
50
|
60
|
92
|
89
|
72.4
|
61.6
|
55.6
|
|
515
|
153
|
220
|
65
|
8-M8
|
GB6071
|
|
CCQ-63
|
63
|
65
|
105
|
114
|
92.1
|
82.6
|
76.6
|
|
566
|
180
|
220
|
80
|
8-M8
|
|
|
CCQ-80
|
80
|
65
|
130
|
130
|
110
|
99
|
93
|
|
603
|
200
|
220
|
80
|
16-M8
|
|
|
CCQ-100
|
100
|
70
|
152
|
152
|
130.2
|
120.7
|
114.7
|
|
653
|
267
|
220
|
95
|
16-M8
|
|
|
CCQ-150
|
150
|
70
|
202
|
202
|
181
|
171.5
|
165.5
|
|
771
|
350
|
270
|
95
|
20-M8
|
|
|
CCQ-200
|
200
|
80
|
251
|
253
|
231.8
|
222.3
|
216.6
|
|
889
|
424
|
270
|
115
|
24-M8
|
|
|
CCQ-250
|
250
|
85
|
300
|
314
|
288
|
308
|
275
|
271
|
1127
|
574
|
350
|
140
|
24-M10
|
JB5278
|
|
CCQ-300
|
300
|
85
|
352
|
365
|
338
|
353
|
323
|
318
|
1197
|
613
|
420
|
140
|
32-M10
|
|
|
CCQ-320
|
320
|
85
|
372
|
385
|
357
|
379
|
344
|
340
|
1197
|
613
|
440
|
140
|
36-M10
|
JB5278
|
|
CCQ-400
|
400
|
110
|
456
|
497
|
454
|
480
|
440
|
436
|
1666
|
810
|
536
|
180
|
36-M12
|
|
|
CCQ-500
|
500
|
135
|
595
|
590
|
555
|
580
|
540
|
536
|
1835
|
870
|
640
|
220
|
40-M12
|
|
|
CCQ-630
|
630
|
135
|
690
|
700
|
658
|
680
|
639
|
635
|
1930
|
960
|
780
|
280
|
40-M16
|
|
|
CCQ-800
|
800
|
150
|
880
|
890
|
855
|
880
|
835
|
831
|
2200
|
1100
|
950
|
350
|
60-M16
|
