風環

雙風口方式，其中下風口風量保持恒定，上風口圓周上分為若干個風道，每個風道由風室、閥門、電機等組成，由電機驅動閥門調整風道開口度，控制每個風道風量大小。

控制過程中，由測厚探頭檢測到薄膜厚薄信號傳送到計算機，計算機把厚薄信號與當前設定平均厚度進行對比，根據厚薄偏差量以及曲線變化趨勢進行運算，控制電機驅動閥門移動，當薄膜偏厚時，電機正向移動，風口關��；相反，電機反向移動，風口增大，通過改變風環圓周上各點風量大小，調整各點冷卻速度，使薄膜橫向厚薄偏差控制在目標的范圍。