XPS測試X射線光電子能譜測試?XPS檢測XPS測試方法

XPS測試/X射線光電子能譜測試項目如下：

測試原理

X射線光電子能譜（XPS），基于光電離作用，當一束光子輻射到樣品表面時，光子可以被樣品中某一元素的原子軌道上的電子所吸收，使該原子解脫原子核的束縛，以一定的動能從原子內部發射出來，變成自由的光電子，而原子本身則變成一個激發態的離子。當固定激發源能量時，其光電子的能量僅與元素的種類和所電離激發的原子軌道有關，由此根據光電子的結合能定性分析物質的元素種類。經X射線輻照后，從樣品表面射出的光電子的強度與樣品中該原子的濃度呈線性關系，可以進一步進行元素的半定量分析。另外，XPS的重要應用是對元素的化學價態進行分析。

測試方法

材料表面不同深度組成元素的定性、半定量及價態分析

最小分析深度:表面2nm，檢出限：0.01-1at%

樣品要求

非水份或不含水份及揮發性物質的固體樣品，粉末樣品以工程師確認結果而定。

樣品尺寸：Max. 4*4*4.5cm

應用范圍

在化學、材料科學及表面科學中具有廣泛的應用價值。

1、 表面元素定性分析

2、 表面元素的半定量分析

3、 表面元素的化學價態分析

4、 元素沿深度方向的分布分析

常見適用標準

ISO 16531-2013 表面化學分析.深度剖析.原子發射光譜(AES)和光電子能譜(XPS)中深度剖析用電流或電流密度的離子束校正和相關測量方法

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