- 產品
- 供應
- 公司
- 新聞
|
|
||||||||||||||||||||||||||||
| 產品參數 | |||
|---|---|---|---|
| 產品特性 | 鍍膜機 | ||
| 新舊程度 | 9成新 | ||
| 設備所在地 | 東莞茶山 | ||
| 設備生產產地 | 日本 | ||
| 產品數量 | 1 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
| 型號 | OTFC-1300 | ||
設備名稱OTFC-1300CBI/DBI
真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架φ1130mm
工件架轉速10rpm to 50rpm(可變)
光學膜厚控制HOM2-R-VIS350A光學膜厚監控儀
波長范圍：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚計XTC/3 6點式水晶傳感器
蒸發源電子2套
離子源17cmRF離子源
排氣系統機械泵 2個擴散泵 Polycold（或2個冷凝泵）
達到壓力7.0×10-5 Pa 以下
排氣時間15分（大氣壓～1.3×10-3 Pa)
基板溫度高：350℃
工作條件
設備尺寸約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
電源3相,200v,50/60Hz, 約104KVA
水流量140升/分以上
空氣壓力0.5MPa以上
重量約8500kg
