| 產(chǎn)品參數(shù) |
| OSAKA分子泵大阪分子泵TGkine3800M-R / TGkine4200M-R 品牌 | OSAKA大阪真空 |
| 重量 | 72kg |
| 驅(qū)動方式 | 電動 |
| 輸送介質(zhì) | 空氣 |
| 吸氣口法蘭 | VG300/ISO-B320/VG350 |
| 排氣口法蘭 | KF40/KF50 |
| 排気速度N2(L/s) | 3600/4200 |
| 排気速度H2(L/s) | 2700 |
| 起動時間 | ≦12min |
| 停止時間 | ≦14min |
| 安裝方向 | 正立或倒立安裝 |
| 可售賣地 | 北京;天津;河北;山西;內(nèi)蒙古;遼寧;吉林;黑龍江;上海;江蘇;浙江;安徽;福建;江西;山東;河南;湖北;湖南;廣東;廣西;海南;重慶;四川;貴州;云南;西藏;陜西;甘肅;青海;寧夏;新疆 |
| 型號 | TGkine3800M-R/TGkine4200M-R | |
OSAKA分子泵 大阪分子泵
TGkine3800M-R / TGkine4200M-R
產(chǎn)品特點：
省電設(shè)計??????
在真空泵本體中，可存儲設(shè)置參數(shù)，運轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)及異常歷史等。?
※即使在維護(hù)階段更換控制器，也可實現(xiàn)全數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)移。??????
支持多種通信接口規(guī)格 （兼容EtherCAT通信協(xié)定）??????
適用于國際規(guī)格 CE/NRTL/SEMI-S2
產(chǎn)品應(yīng)用：半導(dǎo)體制造設(shè)備
FPD制造設(shè)備
太陽能電池制造設(shè)備
玻璃/鏡片等光學(xué)部件加工
鍍膜工藝
加速器/宇宙環(huán)境模擬器技術(shù)參數(shù)：| 型號※1 | TGkine3800M-R | TGkine4200M-R |
| 吸氣口法蘭 | VG300 / ISO-B320 | VG350 |
| 排氣口法蘭※2 | KF40 / KF50 |
| 排氣速度 | N2?(L/s) | 3600 | 4200 |
| N2(付帶金屬保護(hù)網(wǎng))?(L/s) | 3400 | 4000 |
| H2?(L/s) | 2700 | 2700 |
| zui大壓縮比 | N2 | >2×108 |
| H2 | 2×103 |
| zui大氣體流量※3、※4 | N2?(sccm) | 2800 |
| Ar?(sccm) | 1300 |
| 起動時間 | (min) | ≦12 |
| 停止時間 | (min) | ≦14 |
| 到達(dá)壓力※5 | (Pa） | <5×10-7 |
| (Torr） | <3.8×10-9 |
| zui大排氣口壓力※6 | (Pa) | 160 |
| (Torr） | 1.2 |
| 推薦前級泵 | (L/min) | ≧2000 |
| 安裝方向 | 正立或倒立安裝 |
| 質(zhì)量 | (kg) | 72 / 74 | 70 |
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